| 設(shè)備名稱 | PECVD系統(tǒng) OTF-1200X-S-50-II-R-4CV-PE |
| 功能特點 | ·可通過爐管旋轉(zhuǎn)來使得粉料燒結(jié)的更加均勻； ·加熱爐采用兩個加熱溫區(qū)，可以實現(xiàn)雙溫區(qū)獨立控溫； ·帶有預(yù)熱爐，可以實現(xiàn)固相粉末的蒸發(fā)； ·爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能最大程度減少能量損失。 |
| 工作原理 | 加熱爐利用電流使爐內(nèi)加熱元件發(fā)熱，采用固態(tài)繼電器進行電路控制，采用溫度傳感器（熱電偶）檢測爐內(nèi)溫度，熱電偶檢測到的溫度反饋到控溫儀表。智能控溫儀可設(shè)置升溫過程（升溫速度），儀表采集到熱電偶反饋的爐內(nèi)溫度信號，會通過PID調(diào)節(jié)輸出合適的電壓信號，固態(tài)繼電器接收到儀表的輸出信號，控制自身的通斷時間從而達到調(diào)節(jié)爐內(nèi)溫度穩(wěn)定的目的，使得高溫爐按照控 溫儀設(shè)置好的升溫過程進行升溫 |
| 技術(shù)參數(shù) | ·電源:AC220V/50HZ ·功率:功率 ·爐管:外徑φ60-內(nèi)徑φ50*1500mm（異形，帶擋板）
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| 預(yù)熱管式爐 | · 型號：OTF-1200X-S · 電源：AC220V/50HZ · 功率：1.5KW · 加熱區(qū)長度：200mm · 最高溫度：1200度（≤30min） · 工作溫度：1100度 · 熱電偶：K型 · 智能化儀表，PID控制，50段程序控溫
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| 雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)爐 | · 型號：OTF-1200X-S-R-II · 電源：AC110V/50HZ/60HZ · 功率：1.5KW · 加熱區(qū)長度：100mm*2（雙溫區(qū)獨立控溫） · 最高溫度：1200度（≤30min） · 工作溫度：1100度 · 熱電偶：K型 · 智能化儀表，PID控制，50段程序控溫 · 旋轉(zhuǎn)速度：1-20r/min（可調(diào)） · 磁流體密封法蘭
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| 真空系統(tǒng) | · 電源：AC220V/50Hz · 功率：550W · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 可選配真空度更高的系統(tǒng)
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| 供氣系統(tǒng) | · 型號：GSL-4Z-LCD（可選配其他型號） · 質(zhì)量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM 可選配其他量程的控制器 · 精度：±1.5%FS · 最大壓力0.3MPa · 內(nèi)部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管 · 內(nèi)置不銹鋼混氣罐
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| 射頻電源 | · 功率輸出范圍：0-500W · 功率穩(wěn)定度：≤±5W · 射頻頻率：13.56MHZ · 自動匹配 · 噪音：≤50dB · 冷卻方式：風冷
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| 密封法蘭系統(tǒng) | · Φ50mm的不銹鋼磁流體法蘭 · 一個進氣口 尺寸：1/4英寸雙卡套接頭，一個不銹鋼截止閥控 制進氣 · 兩個出氣口 尺寸：1個KF25接口用于接真空泵（配有真空擋板 閥），1個手動出氣口，方便放氣。 · 一個KF16接口連接真空規(guī)管 |
| 模塊化控制（選配） | 可通過觸摸屏操作控制供氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)以及射頻電源的使用,方便快捷 |
| 外形尺寸 | 1900長*600寬*1350mm高
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| 重量 | 約330KG |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
| 使用注意事項 | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于 0.02MPa ，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣 閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示 數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原 因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和 防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公 司概不負責。 |
使用注意事項 | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥， 本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱， 則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛 出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體， 請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。 |
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