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反射膜厚儀
型號:
SR-C
產(chǎn)品概述:
本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測量,測量吸收或者透明襯底上薄膜的厚度以及折射率,同時提 供樣品反射率, 測量精度達(dá)到埃級的分辨率, 測量迅速, 操作簡單, 界面友好, 測量時間不到 1 秒??蓱?yīng) 用于光阻、半導(dǎo)體材料、高分子材料等薄膜層的厚度測量,在半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板和光學(xué)行業(yè)以及 科研院所和高校都得到了廣泛的應(yīng)用。
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設(shè)備名稱型號

·反射膜厚儀 SR-C


基本參數(shù)

·電源:AC 220V 50HZ

·功率:60W

·基本功能:獲取薄膜厚度值以及 R 、N/K 等光譜

·光譜分析范圍:380nm-1000nm

·測量光斑大?。簶?biāo)準(zhǔn)1.5mm,最小 0.5mm

·膜厚重復(fù)性測量精度:0.02nm (100nm硅基 SiO2樣件,500次重復(fù)測量)

·膜厚絕對精度:0.2% 或 2nm 之間較大者

·膜厚測量范圍:15nm-70μm

·測量 n 和 k 值厚度要求:100nm以上

·單點測量時間:≤1s

·光源:高性能進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)鹵素?zé)艄庠?/p>

·基板尺寸:最大支持樣件尺寸到200*200mm(可升級定制不同尺寸樣品臺)


測控與分析軟件

·分析軟件:多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫,并支持用戶自定義光學(xué)材料庫;提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能

·光譜測量能力:反射率光譜測量

·數(shù)據(jù)分析能力:膜厚分析能力,光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))

·支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等);

·支持用戶自定義,可授權(quán)離線分析軟件模擬實際測量,支持 windows 10 操作系統(tǒng)

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涂裝與表面處理

·涂裝顏色:以黑白灰色為主

·表面處理:鍍化學(xué)鎳、陽極處理、烤漆等


配件

·標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣

·K9玻璃標(biāo)樣

·標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套


環(huán)境要求

·承載臺:尺寸>1.0m (長)×0.7m (寬),承載能力大于20Kg

·使用溫度范圍:20 ~ 26 ℃

·相對濕度:35% ~ 60% RH

·空氣壓力范圍:750~1014 mbar

·潔凈度:Class 1000


質(zhì)保與售后服務(wù)

·整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時免費維修,對非人為造成的各類零件損壞,及時免費更換

·測控與分析軟件:終身免費升級,數(shù)據(jù)分析軟件提供不限量拷貝

·為用戶提供全面充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)

·提供12個月免費數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持,免費期為用戶提供樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫升級服務(wù)


視頻

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