立式雙溫區(qū)管式爐 | ·小型開啟式立式管式爐 ·工作電壓:208~240VAC ·最大功率4KW ·2個加熱溫區(qū):每個溫區(qū)100mm,總溫區(qū)長度200mm ·最高加熱溫度:1200℃ ·連續(xù)工作溫度:1100℃ ·2個程序溫控器,分別獨立控制2個溫區(qū),控溫精度可達(dá)+/-0.1℃ ·用戶需找到合適的溫度梯度 ·可通過調(diào)節(jié)2個溫區(qū)的溫度,能創(chuàng)造不同的溫度梯度 ·調(diào)節(jié)爐體打開的直徑也可改變溫度梯度 ·設(shè)備中包含石英管(外徑Φ80mm×內(nèi)徑Φ72mm×長800mm)和不銹鋼密封法蘭 |
爐體移動機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)來驅(qū)動爐體上下移動 ·最大移動行程:200mm ·移動速度范圍:0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào),精度+/-1um) ·可根據(jù)客戶要求來定制爐體移動速度范圍 |
密封法蘭 | ·一對不銹鋼密封法蘭,用于密封石英管 ·頂部法蘭安裝有壓力傳感器和Φ6.35mm出氣口 ·底部法蘭有KF25真空接口和Φ6.35mm的進(jìn)氣口 ·底部法蘭采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動升降,用于裝入和取出坩堝 ·設(shè)備中配有一直徑Φ60mm×70mmH的石墨坩堝 ·坩堝臺安裝在底部法蘭上 ·真空度:10-2torr(采用機(jī)械泵),10-5torr(采用分子泵系統(tǒng)) ·可在本公司選購各種真空泵 機(jī)械泵 分子泵系統(tǒng) |
控制面板 | ·觸摸屏控制面板可控制爐體移動速度,移動行程和爐體溫度和顯示坩堝的溫度,也可控制爐管內(nèi)部氣壓 ·2個歐陸儀表(Eurothermo)分別控制2個溫區(qū),控溫精度+/-0.1℃ ·包含3根K型熱電偶 2根熱電偶分別控制和檢測2個溫區(qū)的溫度 1根熱電偶用于檢測坩堝底部的溫度 ·坩堝臺與底部法蘭相互連接 ·一個數(shù)顯壓力傳感器和電磁閥安裝在密封法蘭上,用于控制爐管內(nèi)氣壓恒定,控制范圍:0.01MPa-0.02MPa |
設(shè)備尺寸 | |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含損耗件,如加熱元件,爐管和密封圈等) |
設(shè)備凈重約 | ·200kg |
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