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桌面式紫外臭氧清洗機(jī)（自動(dòng)開(kāi)/關(guān)門(mén)，清洗面積300×300mm,可選加熱樣品）
型號(hào)：
PCE-33
產(chǎn)品概述：
PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗機(jī)，自動(dòng)開(kāi)/關(guān)樣品門(mén)，可選加熱樣品臺(tái)，可用于清洗各種基片來(lái)達(dá)到比較好的涂膜/鍍膜效果，最大有效清洗面積300×300mm。此款設(shè)備特別適合移除基片上的光刻膠，改善潤(rùn)濕性，清洗鈣鈦礦太陽(yáng)能電池基片，SEM&TEM樣品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無(wú)酸性，干燥且無(wú)損傷地原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除樣品表面的有機(jī)物。設(shè)備上所用紫外燈管主要發(fā)出2種波長(zhǎng)的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變?yōu)槌粞酰?54nm紫外光激活基片表面的有機(jī)物分子，兩者結(jié)合可有效清除基片表面有機(jī)物。
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產(chǎn)品特點(diǎn)

·清洗面積較大，大達(dá)300×300mm

·樣品倉(cāng)門(mén)自動(dòng)開(kāi)關(guān)

·可移除基片表面各種污染物

·樣品臺(tái)可加熱，最高溫度150℃

·觸摸屏控制面板，可設(shè)置和現(xiàn)實(shí)各種參數(shù)
電源要求

·AC220V，50/60Hz

·總功率：950W
UV燈

·設(shè)備中包含一臺(tái)雙波長(zhǎng)汞燈

·波長(zhǎng)：253.7nm和184.9nm

·UV燈使用壽命：5000小時(shí)

·UV燈罩區(qū)域：300×350mm

·可清洗基片最大尺寸為12英寸，35mm厚度

·UV燈單獨(dú)包裝，防止運(yùn)輸中損壞

·UV燈不在質(zhì)保范圍內(nèi)

圖片1.png
腔體&樣品臺(tái)

·不銹鋼殼體

·自動(dòng)滑動(dòng)抽屜樣品倉(cāng)

·樣品臺(tái)面積450×450mm

·最大樣品厚度：40mm

·一個(gè)臭氧排除裝置安裝在腔體中

·時(shí)間設(shè)置范圍：0.01秒~99.9小時(shí)
加熱型樣品臺(tái)

·加熱臺(tái)最高溫度可達(dá)150℃，程序控溫

·可設(shè)置30段溫度段，控溫精度±2℃

·最大加熱速率：15℃/min

·樣品臺(tái)和UV燈關(guān)之間的距離可調(diào)節(jié)：20~40mm

·可選加熱溫度達(dá)到300℃，控溫精度±0.1mm
排氣口

·一個(gè)直徑為75mm的排氣口在設(shè)備后部

·配有3米的柔性排氣管道

圖片2.png
質(zhì)保

·一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

·UV燈管不在質(zhì)保范圍內(nèi)
應(yīng)用

·清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃

·清洗各種氧化物單晶片，如藍(lán)寶石，STO和LAO

·清洗Au和Pt基片

·輕金屬材料表面氧化

·活化聚合物材料

·UV去除光刻膠

·UV清洗LED顯示屏
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