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手套箱內(nèi)磁控濺射儀(3靶濺射儀,DC/RF電源)
型號(hào):
VTC-600-3HD-GB
產(chǎn)品概述:
VTC-600-3HD-GB是一款在手套箱內(nèi)的3靶磁控濺射儀(手套箱內(nèi)O2&H2O2<1PPm).磁控濺射儀配有3個(gè)2英寸濺射頭,2個(gè)直流(DC)濺射電源和2個(gè)射頻(RF)濺射電源,可用于同時(shí)濺射3個(gè)不同材質(zhì)的靶材(在惰性氣氛環(huán)境,水氧<1PPM)。此款設(shè)備設(shè)計(jì)主要用于要求鋰電池固態(tài)電解質(zhì)薄膜,同時(shí)也可以一次濺射多層薄膜,如鐵電,合金,半導(dǎo)體,陶瓷,氧化物等等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
手套箱(帶有凈化系統(tǒng))

·腔體尺寸:1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H,材質(zhì)不銹鋼

·腔體前門設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式,便于放置設(shè)備和樣品。

·手套箱配有凈化系統(tǒng),可以快速去除手套箱內(nèi)的O2H2O

·凈化系統(tǒng)安裝有自動(dòng)再生系統(tǒng)(自動(dòng)對(duì)吸氧和吸水材料進(jìn)行凈化)

·凈化系統(tǒng)確保手套箱內(nèi)的O2H2O含量低于1PPM

·2個(gè)不同過(guò)度倉(cāng),保證在不破壞手套箱氣氛環(huán)境下,達(dá)到手套箱內(nèi)外樣品傳遞

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濺射鍍膜儀

·濺射儀鑲嵌在手套箱底部,采用一個(gè)鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm把手套箱腔體和濺射儀腔體隔離開(kāi)

·3個(gè)2英寸磁控濺射頭,安裝在濺射儀頂部

 

·3個(gè)濺射電源安裝在一空控制單元盒內(nèi),置于手套箱外。請(qǐng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求選擇濺射電源:

         1個(gè)或2個(gè)直流電源:功率500W,用于濺射金屬靶材(圖1

          1個(gè)或2個(gè)射頻電源:功率300W,頻率13.56MHz,用于濺射非導(dǎo)電性靶材。

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磁控濺射頭

·3個(gè)2英寸磁控濺射頭,帶有水冷夾層

·靶材直徑要求:25mm

·靶材厚度范圍:0.1~5mm

·設(shè)備中包含1個(gè)不銹鋼靶材和氧化鋁靶材用于儀器測(cè)試

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真空腔體

·真空腔體尺寸:Φ300mm×300mm

·一個(gè)石英觀察窗口,直徑Φ100mm

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樣品臺(tái)

·樣品臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)(為了薄膜均勻)和加熱,采用陶瓷加熱片加熱,表面覆蓋銅板

·樣品臺(tái)尺寸:直徑140mm,可放置4英寸基片

·轉(zhuǎn)動(dòng)速度:1-120rpm(可調(diào))

·樣品臺(tái)加熱溫度:室溫-500℃(2小時(shí)),控溫精度正負(fù)1

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氣體&流量控制

2個(gè)精密的氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝在設(shè)備上

  流速:0200ml/min&0-100ml/min,可在觸摸屏面板上設(shè)置參數(shù)

一個(gè)進(jìn)氣閥安裝在設(shè)備上,用于破壞真空

需要純度為5NAr氣,來(lái)運(yùn)行濺射鍍膜儀

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真空泵

設(shè)備中配有一個(gè)抽氣速率為240L/min的雙級(jí)旋片真空泵

因?yàn)闉R射儀與手套箱連接,所以不需要分子泵系統(tǒng),手套箱內(nèi)部惰性氣體的水氧含量<1PPM,遠(yuǎn)好于用分子泵的效果

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循環(huán)水冷機(jī)

一個(gè)數(shù)顯溫度可控的循環(huán)水冷機(jī)

     溫度范圍:5~35

     流量:16L/min

     泵壓:0.1MPa

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可選

精密石英薄膜測(cè)后儀,可安裝在濺射腔體內(nèi),實(shí)時(shí)檢測(cè)薄膜厚度,顯示精度為0.1?

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電源要求

·單相220 VAC 50 / 60 Hz

·3000 W (包括真空泵和循環(huán)水冷機(jī))


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