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供氣系統(tǒng)
關(guān)鍵字:
三通道
型號(hào):
GSL-3Z-LCD-S
產(chǎn)品概述:
GSL-3Z-LCD-S是一款小型的三通道質(zhì)子流量計(jì)混合系統(tǒng)。PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實(shí)時(shí)查看流量數(shù)據(jù)及曲線??膳c本公司各種管式爐CVD/PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用,實(shí)現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實(shí)驗(yàn)氣氛的精準(zhǔn)控制。
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產(chǎn)品名稱(chēng)型號(hào)

供氣系統(tǒng) GSL-3Z-LCD-S


產(chǎn)品特點(diǎn)

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

· 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。

· 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。

· 所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。


基本參數(shù)

· 電源:AC 220V 50/60HZ

· 功率:30W

· 標(biāo)準(zhǔn)流量量程:一路:1-100 sccm

           二路:1-200 sccm

三路:1-500 sccm

(其他流量范圍可定制,訂貨前請(qǐng)與公司銷(xiāo)售部聯(lián)系)

· 系統(tǒng)最大耐壓:0.15 MPa

· 精度:±1.5%F.S

· 重復(fù)精度:±0.2%F.S


PLC觸摸屏

· 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中的6″的觸摸屏上

圖片1.png  圖片2.png


 


機(jī)械壓力表與混氣罐

· 有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上,與混氣罐相連接

· 壓力表量程:-0.1~0.15MPa

· 混氣罐尺寸:直徑φ64*長(zhǎng)度120mm


通氣管道與截止閥

· 設(shè)備背面設(shè)有四個(gè)φ6.35的卡套接頭,三個(gè)為進(jìn)氣口,一個(gè)為出氣口

· 內(nèi)部連接管道為1/4″不銹鋼管

· 外部連接管道為1/4″四氟管連接氣瓶

· 四個(gè)不銹鋼雙卡套角式穿板截止閥安裝在設(shè)備前面板,控制氣體的通斷


產(chǎn)品尺寸

長(zhǎng)500mm*寬450mm*高210mm

圖片3.png


 


重量

13kg


保質(zhì)期

1年(不包含損耗件),終身維護(hù)



注意事項(xiàng)

· 每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓。

· 減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍再0.020.25Mpa的專(zhuān)用氣體減壓閥

· 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。

· 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L 不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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