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供氣系統(tǒng)
關(guān)鍵字:
單通道、數(shù)字式流量設(shè)定
型號(hào):
GSL-1Z-LCD
產(chǎn)品概述:
GSL-1Z-LCD是一款單通道的供氣系統(tǒng),結(jié)構(gòu)小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確控制。此設(shè)備可與本公司的管式爐、CVD系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備等配套使用,穩(wěn)定可靠。
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設(shè)備名稱型號(hào)

供氣系統(tǒng)  GSL-1Z-LCD 

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 結(jié)構(gòu)小巧,操作方便

· 數(shù)字式流量設(shè)定,方便快捷

· 流量顯示精準(zhǔn),穩(wěn)定可靠


基本參數(shù)

· 電源:AC 220V 50HZ

· 功率:20W

· 流量范圍:5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

    1,2,3,5,10 SLM

· 準(zhǔn)確度:±1.5% F.S

結(jié)構(gòu)

· 設(shè)備背面設(shè)有兩個(gè)φ6.35的卡套接頭,一個(gè)為進(jìn)氣口,一個(gè)為出氣口

· 外部通氣管道為1/4″的聚四氟管

· 內(nèi)部通氣管道為1/4″的不銹鋼管

· 一個(gè)φ6.35帶塑料手柄的直角針閥安裝在設(shè)備前面板,控制氣體的通斷。

· 一個(gè)顯示儀用于調(diào)節(jié)氣體流量與管道的清洗。

顯示儀

· 型號(hào):D08-1F

· 最大流量顯示為:9999

· 顯示儀的面板上裝有“閥控”開(kāi)關(guān)。閥控開(kāi)關(guān)有三個(gè)位置,正常工作時(shí)置于“閥控”位,需要通氣清洗通道時(shí),置于“清洗”位,不用時(shí)應(yīng)置于“關(guān)閉”位。

· 設(shè)有一個(gè)流量設(shè)定旋鈕,通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量的大小,如下圖:氣體流量為93(先讀旋鈕A上的十位數(shù),再讀旋鈕B上的個(gè)位數(shù))。C為機(jī)械鎖(鎖上后旋鈕無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng))

· 當(dāng)需要設(shè)定的流量為100 SCCM時(shí),需將A、B旋鈕順時(shí)針旋轉(zhuǎn)到0,即上下旋鈕所對(duì)應(yīng)的數(shù)字為“00”。

圖片1.png

設(shè)備外形尺寸

360mm(L)*300mm(W)*195mm(H)



圖片2.png

重量

約6KG

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)





注意事項(xiàng)

· 如果使用鋼瓶作為氣源時(shí),每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓;

· 減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍再0.02—0.25Mpa的專用氣體減壓閥;

· 標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)通道采用的材料為:316L不銹鋼和氟橡膠密封圈,通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏,

在使用流量計(jì)過(guò)程中需要定期進(jìn)行清洗。如果要使用氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕氣體,請(qǐng)

在定貨時(shí)進(jìn)行說(shuō)明。由于定貨時(shí)沒(méi)有進(jìn)行說(shuō)明并通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維

修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有

毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,

本公司概不負(fù)責(zé)。


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附件

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