| 設(shè)備名稱 | ? 1200℃小型流化床CVD爐-OTF-1200X-S-FB |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?nbsp; 4、配件妥善保管提示 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便與更換爐管 ? 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命 ? 專門針對粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn) |
| 基本參數(shù) | ? 溫度：最高1200℃ （長期1100℃） ? 建議升溫速率：≤10℃/min ? 熱偶：K型熱偶 ? 電源：220V ? 最大功率：1.2KW ? 控溫精度：±1℃ ? 爐管尺寸：兩端Φ25mm（中間Φ50mm）；長482mm ? 爐管材料:采用高純特質(zhì)石英爐管 ? 加熱區(qū):加熱區(qū)長度：200mm ? 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命） 多孔石英板: ? 孔徑：10-15微米 ? 尺寸：φ22mm x 4mm 厚 溫控系統(tǒng): ? 包含一款YD858P型溫度控制器 ? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ? 智能化50段可編程控制 ? 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ? 通過MET認(rèn)證 |
| 外形尺寸 | 爐體尺寸：340mm×300mm×1300mm ( W x L x H) 爐膛尺寸：Φ80X200 |
| 凈重 | ? 約20 kg |
| 認(rèn)證 | ? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
| 質(zhì)保期 | ? 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | ·購買前請聯(lián)系我們，確定進(jìn)出氣口以及閥門種類。 ·石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃。 ·設(shè)備使用過程兩邊添加管堵，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性。 · 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。 ·若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。 |
警示 | ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公 司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 ? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 ? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 |
真空系統(tǒng) | ? 通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr. ? 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr.
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供氣系統(tǒng) （可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計(jì)可供選擇，以實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制。
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減壓閥 | ? 可選用本公司減壓閥，以實(shí)現(xiàn)氣體壓力的精確控制。
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PC控制(選配） | ? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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