| 設(shè)備名稱 | 1100度雙溫區(qū)直空/氣氛快速升降溫RTP爐(紅外燈管加熱 升溫速度:50度/S) （2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示 |
| 主要特點(diǎn) | · 采用短波紅外燈管對(duì)樣品加熱，可達(dá)到快速加熱的效果。 · 雙溫區(qū)快速升溫，最高達(dá)50℃/s。 · 超大管徑φ110mm。 · 最高溫度可達(dá)1100℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 · 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 · 開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 · 可選裝波紋管推拉式伸縮架，樣品架可在內(nèi)部伸縮式波紋管中滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)在真空或受控氣氛下實(shí)現(xiàn)快速加熱或冷卻。 |
| 基本參數(shù) | ·最大1100oC，持續(xù)時(shí)間<10分鐘 ·最大1000oC，持續(xù)＜20分鐘（注意：如果運(yùn)行時(shí)間更長(zhǎng)，爐殼將＞100oC，必須使用風(fēng)扇從外部冷卻爐殼） ·最大800oC，持續(xù)時(shí)間<120分鐘 ·連續(xù)溫度最高600oC · 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 · 加熱元件：16根紅外燈管(每根1.5KW) · 最大功率：24KW · 設(shè)備電源：AC380V/50HZ 單相 · 循環(huán)水流量:0.5 m3/h 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。 · 法蘭端提供多種接頭可選，具體請(qǐng)咨詢銷售。
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| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C · 熱電偶型號(hào)：K型 |
| 開門斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
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| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
科晶實(shí)驗(yàn)室對(duì)OTF-1200X-4-RTP設(shè)備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實(shí)驗(yàn)研究，得出以下經(jīng)驗(yàn)以供參考：
1）升溫速率越慢，控溫精度越高，升溫速率越快，追溫溫差越大。
升溫速率 | 追溫溫差 | 控溫精度（恒溫精度） |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 溫差較大，但30s內(nèi)恒溫 | +-1℃ |
2）570℃以下降溫不可控。
降溫速率 | 可控溫度情況（參考） |
40℃/min | 570℃以上，可控制降溫 |
60℃/min | 600℃以上，可控制降溫且誤差<5℃，600℃-570℃，誤差<10℃ |
實(shí)驗(yàn)名稱：RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關(guān)系
實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>1、升溫速度能否保持恒定；
2、恒溫波動(dòng)是否小于1℃；
3、實(shí)現(xiàn)目的：保持一定的升溫速度，待到達(dá)恒溫溫度時(shí)，升溫速度減緩的溫度點(diǎn)越接近恒溫溫度越好。
適用領(lǐng)域：鐵磁性材料的制備
實(shí)驗(yàn)結(jié)果：
100℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在398℃ |
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100℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在698℃ |
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400℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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400℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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300℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在795℃ |
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600℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤2℃；升速減緩點(diǎn)在790℃ |
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以上數(shù)據(jù)總結(jié)，存在調(diào)試差異，具體詳情請(qǐng)聯(lián)系合肥科晶實(shí)驗(yàn)室 | ||
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 該設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度為600℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題。 · 在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個(gè)基片襯底上，此法可被廣泛應(yīng)用制備二維材料。通過CVD法生長(zhǎng)的石墨烯，表面平整度高且無殘?jiān)?/span> · 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）
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注意事項(xiàng) | · 當(dāng)爐體溫度高于200℃時(shí)，請(qǐng)一定連接并運(yùn)行水冷機(jī)，防止對(duì)設(shè)備造成損壞。 · 當(dāng)爐體溫度高于900℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 |
可選配件 | · 紅外燈管為可更換的(圖1)，如有需要請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售人員。 · 樣品架可選：3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2) · 可選：將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設(shè)計(jì)三個(gè)坩堝架，則可被改造成一個(gè)RTE，CSS或HPCVD爐，另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3) · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4) · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）(圖5) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 |
伸縮式波紋管推拉架 (選配） | · 可改造波紋管推拉式伸縮架，樣品架可在內(nèi)部伸縮式波紋管中滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)在真空或受控氣氛下實(shí)現(xiàn)快速加熱或冷卻。
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PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售人員。
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水冷機(jī)(選配） | · 可選購(gòu)水冷機(jī)降低法蘭總成溫度，避免高溫密封硅膠圈融化。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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