| 設(shè)備名稱(chēng) | 900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD （2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示 |
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| 主要特點(diǎn) | · 快速升溫，最高達(dá)50℃/s。 · 配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，在操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。 · 超大管徑φ110mm。 · 最高溫度可達(dá)900℃。 · 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 · 開(kāi)門(mén)斷電。 |
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| 基本參數(shù) | · 工作溫度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長(zhǎng)期) · 最快升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s · 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 · 加熱區(qū)長(zhǎng)度：190mm · 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW) · 最大功率：12KW(>60A 保險(xiǎn)) · 設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相 · 循環(huán)水流量:0.5 m3/h · 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min · 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù) · 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相 · 功率：23W
更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部 |
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| 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。 · 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。 · 所有儀表及閥門(mén)的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 |
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| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。 · 熱電偶：K型，熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。 |
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| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C · 熱電偶型號(hào)：K型 |
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| 開(kāi)門(mén)斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
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| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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科晶實(shí)驗(yàn)室對(duì)OTF-1200X-4-RTP設(shè)備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實(shí)驗(yàn)研究，得出以下經(jīng)驗(yàn)以供參考：
1）升溫速率越慢，控溫精度越高，升溫速率越快，追溫溫差越大。
升溫速率 | 追溫溫差 | 控溫精度（恒溫精度） |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 溫差較大，但30s內(nèi)恒溫 | +-1℃ |
2）570℃以下降溫不可控。
降溫速率 | 可控溫度情況（參考） |
40℃/min | 570℃以上，可控制降溫 |
60℃/min | 600℃以上，可控制降溫且誤差<5℃，600℃-570℃，誤差<10℃ |
實(shí)驗(yàn)名稱(chēng)：RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關(guān)系
實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/strong>1、升溫速度能否保持恒定；
2、恒溫波動(dòng)是否小于1℃；
3、實(shí)現(xiàn)目的：保持一定的升溫速度，待到達(dá)恒溫溫度時(shí)，升溫速度減緩的溫度點(diǎn)越接近恒溫溫度越好。
適用領(lǐng)域：鐵磁性材料的制備
實(shí)驗(yàn)結(jié)果：
100℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在398℃ |
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100℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點(diǎn)在698℃ |
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400℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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400℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在395℃ |
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300℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點(diǎn)在795℃ |
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600℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤2℃；升速減緩點(diǎn)在790℃ |
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以上數(shù)據(jù)總結(jié)，存在調(diào)試差異，具體詳情請(qǐng)聯(lián)系合肥科晶實(shí)驗(yàn)室 | ||
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 該設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度為600℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問(wèn)題。 · 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE） · 在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個(gè)基片襯底上，此法可被廣泛應(yīng)用制備二維材料。通過(guò)CVD法生長(zhǎng)的石墨烯，表面平整度高且無(wú)殘?jiān)?/span> · 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門(mén)。 · 第一次使用，或長(zhǎng)時(shí)間不用再次使用時(shí)，請(qǐng)分別點(diǎn)擊二個(gè)“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進(jìn)行吹洗。 · 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶(hù)應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。 · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專(zhuān)用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） · 氫氣瓶必須使用專(zhuān)用的減壓器，開(kāi)啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。 · 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽(yáng)光直曬，又能耐火的專(zhuān)門(mén)建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。 · 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 · 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 |
注意事項(xiàng) | · 當(dāng)爐體溫度高于200℃時(shí)，請(qǐng)一定連接并運(yùn)行水冷機(jī)，防止對(duì)設(shè)備造成損壞。 · 當(dāng)爐體溫度高于900℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 不要放在不平或有震動(dòng)的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險(xiǎn)。 · 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進(jìn)設(shè)備內(nèi)部，否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險(xiǎn)。 · 不要放在容易濺上水的場(chǎng)所，水等進(jìn)入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災(zāi)、觸電事故。 · 設(shè)備的控制電路部分要進(jìn)行定期檢查（半年檢查一次），對(duì)線路進(jìn)行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時(shí)應(yīng)及時(shí)處理，否則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 · 必須由具有專(zhuān)業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 |
可選配件 | · 紅外燈管為可更換的(圖1)，如有需要請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。 · 樣品架可選：3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2) · 可選：將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設(shè)計(jì)三個(gè)坩堝架，則可被改造成一個(gè)RTE，CSS或HPCVD爐，另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3) · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4) · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）(圖5) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來(lái)監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6) · 可與氣液混合罐配合使用。(圖7) · 可與精密液體氣相發(fā)生器配合使用。(圖8)
圖5 圖6 圖7 圖8 |
PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買(mǎi)爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買(mǎi)帶有PC控制的加熱爐，如有疑問(wèn)請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售人員。
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水冷機(jī)(選配） | · 可選購(gòu)水冷機(jī)降低法蘭總成溫度，避免高溫密封硅膠圈融化。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類(lèi)型依賴(lài)性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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