主要參數 | · 最高工作:1200℃(< 1 小時) · 溫度連續(xù)工作溫度: 1100℃ 腔體內采用流動氣氛 · 最大升溫速率:≤10℃/min · 工作電壓:AC 208-240V 單相, 50/60Hz · 最大功率:8.5KW(需要50A的空氣開關) · 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金 · 加熱區(qū):七個溫區(qū)有七個獨立的溫控系統(tǒng)控制,總加熱區(qū)長:1240mm 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數據,請與我公司銷售人員聯(lián)系 |
爐體結構 | · 爐體采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng) · 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層(可提高加熱效率,延長爐膛使用壽命) · 開啟式的爐體設計,使更換爐管更加方便 |
石英管和管堵所放位置 | · 爐管尺寸130(O.D)* 122(I.D)* 2000(L)mm(可選配直徑為25mm、50mm、60mm、80mm或100mm的石英管) · 儀器中配有氧化鋁管堵,使用時必須放在石英管兩端(點擊圖片查看詳細資料) |
密封法蘭 | · 設備中配有一套卡箍式快接法蘭(爐體兩端帶有支架,用于支撐法蘭) · 左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥和卡套接頭(用于通入氣體) · 右端法蘭上安裝有防腐真空計,法蘭設計為KF25接頭(用于連接真空泵) |
溫控系統(tǒng) | · 控制柜與爐體分開,采用觸摸屏來操作來控制七個溫區(qū),每個溫區(qū)有獨立的控制通道。 · 每個控制通道可設置50段升降溫程序 · 設有超溫和斷偶保護 · 控溫精度為:+/-1oC · 熱電偶:采用K型鎧裝熱電偶 · 控制面板上安裝有RS485接口,可連接電腦將數據導出 |
可選 | · 客戶可選購多通道質量流量計供氣系統(tǒng),用于和管式爐配合來做CVD實驗 · 可選購壓力控制系統(tǒng),來確保爐管內氣壓恒定 |
尺寸 | |
重量 | · 爐體重量:332kg · 控制柜重量:92kg |
質保 | 一年保修,終身技術支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
質量認證 | 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ · 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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